实现微位移的方案比较多,用途很广泛,应根据不同的用途,合理选取不同的方案。设计原则为,满足微位移行程及分辨率,经济合理;结构紧凑。作为微动补偿的微动工作台,除满足上述要求外,还应具有良***的静、动态特性精密微动工作台的设计要求

　　作为理想的精密微动工作台,应满足下列要求:

　　1)微动工作台的支承或导轨副应无机被摩擦和无间隙,具有高的位移分辨率和高的定位精度和重复精度,满足工作行程要求。

　　2)微动工作台本身应具有高的几何精度,即颠摆、滚摆和摇擦误差小,同时稳定可靠。

　　3)微动工作台应具有较高的固有频率,以保证良***的动态特性和抗干扰能力,即******采用直接驱动方式,无传动环节。

　　4)微动系统便于控制,而且响应速度快。