实际结晶在表面上有很多晶格缺陷,从材料上去除表面原子所需能量比破坏材料原子结合所需的能量小,尤其是凸出部分易受冲击而被去除;当两物质相互摩擦时,两物质表面的结合能量分布出现重

叠,强度高的物质表面原子被强度低的物质表面原子冲击而去除,实现用软质粒子来加工硬质材料,而且工件材料也不会因塑性变形产生错位，工件***外层表面原子和研磨剂粒子***外层表面原子相互扩散,降低了工件***外层表面原子的结合能量,被以后的磨粒粒子冲击而去除。这种加工方法的加工效率随抛光粒子向工件表面的冲击频率、冲击速度、工件与抛光剂的表面原子结合能量分布和相互扩散的难易程度、不纯物原子侵入时工件***外层表面原子的结合能量的降低比例而异。例如可用极软的石曼和溶于水的LF来抛光很硬的蓝宝石。为了提高加工效率,可使用能起机械化学反应的软质物质作抛光剂。

　　用传统方法以硬质磨粒来拋光软质材料工件,虽然加工效率高,但难于避免工件材料的变形和破坏,但若选取直径极小的硬质粒子冲击工件表面时,如果设定加工条件无工件变形,只进行去除***外层表面原子,也可使工件不产生错位。例如可使用公称直径为0.007nm的SiO2超微粒子,进行抛光软质Mn-Zn铁寰体和LiNbO3等单晶工件而不产生错位和增殖。技术要点是使用超徽粒子避免大的粒子混入。